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30段程序温度控制 快速退火炉 (0篇用户评论|写评论)
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RTP快速退火炉-小型快速热处理管式炉

RTP快速退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉配有4’’石英管和真空法兰.是专为半导体或太阳能电池基片(最大3’’)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为50℃/s.设有30段温度控制精度为±1。此外,通过 n丹通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

产品型号

RTP快速退火炉

主要特点

1.石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更容易。

2.样品架上放置76mmAIN基片,承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率,可使样品放置的区域有很好的温度均匀性(±5℃)。

3.内插式热偶保证了温度的准确性。

4.采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能。

5.已通过CE认证。

技术参数

1.电源:208-240V 50/60HZ

2.炉体结构:双层风冷结构

3.石英管:外径110mm内径103mm380mm

4.样品架:76mm

5.加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈10mm,灯长300mm

6.恒温区:102mm×305mm,均匀性±5

7.热偶:K型热偶

8.温度:最高温度1100℃,额定温度1000℃,在1000-1100℃下保温时间不得超过600s

9.控温精度:±1

10.最快升温速度:RT-800℃内50/s

11.最快降温速度:60/min(200mtorr)117/min(在一个大气压下)

12.真空度:50mtorr(机械泵)10torr(分子泵)

13.真空法兰:KF-D25,配有两个高温O型圈密封

14.流量计:16-160ml/min

15.真空度:10mtorr-800torr

16.水冷:流速3L/min,水温20℃,水压25PSI

产品规格

尺寸:760mm×330mm×530mm;重量:45kg

标准配件

1

AIN基片

1

2

石英样品管

1

3

石英管

1

4

石英挡板

4

5

红外灯管

8

6

真空法兰

1

7

高温手套

1

可选配件

1.真空泵2.波纹管(KF-D25接口)3.KF-D25快接

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